深冷水汽捕集泵
COOL2000H
COOL3000H
COOL4000H
在真空腔體內(nèi)，水汽分子是典型的環(huán)境污染氣體，占腔內(nèi)殘余氣體 65% 到 95% ，當(dāng)真空度達(dá)到 10E-2Pa時(shí)，水汽分子用平常真空泵難排出腔體，是典型的具副作用的污染氣體，是工件的污染源，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。為了快速的達(dá)到較高的真空度，COOL系列水汽深冷泵快速捕集和吸附真空腔內(nèi)的水汽，輔助抽真空，在極短的時(shí)間達(dá)到需求的真空度
COOL系列水汽深冷捕集泵工作原理將一個(gè)冷阱盤管或擋板，放置在真空室內(nèi)的腔壁上或油擴(kuò)散泵的泵口，通過制冷盤管表面，實(shí)現(xiàn)低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集集真空泵統(tǒng)的水汽分子或其它殘余氣體分子，從而獲得潔凈的真空環(huán)境，提高產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量，改善鍍膜的品質(zhì)，提高薄膜的附著力和多層鍍膜能力。
COOL系列水汽深冷捕集泵有單級和雙級的配置，雙級制冷可單獨(dú)控制每一路的制冷，兩路冷阱盤管或擋板都能被快速除霜。
特點(diǎn)
水汽抽速366000L/s
快速捕集水汽、油蒸汽；抽真空時(shí)間可縮短75%
溫度可達(dá)到-120℃至-150℃
產(chǎn)品吞吐量的20%上升到100%
在成本/性能上優(yōu)于液氮制冷
制冷量可達(dá)4000W
環(huán)保型混合冷媒滿足所有適用地區(qū)的環(huán)境要求（京都國際協(xié)議）。
自動化控制，支持遠(yuǎn)程通訊
高清觸摸屏，方便操作的面板控制
雙級制冷回路配置
應(yīng)用
替代液氮的經(jīng)濟(jì)性選擇
在光學(xué)鍍膜、卷繞鍍膜等各種功能鍍膜或裝飾鍍膜系統(tǒng)，可以用于真空室內(nèi)抽吸水汽，以獲得更好的薄膜質(zhì)量
用于冷阱等冷卻裝置防止擴(kuò)散泵返油
化學(xué)工程，液化工藝氣體
系統(tǒng)
除了COOL設(shè)備單元外，還提供以下關(guān)鍵組件，如有需要，可以按照您的規(guī)格制造:
冷阱盤管和擋板
冷阱盤管一般安裝在真空腔室內(nèi)，或高閥與真空室之間，適用于鍍膜材料放氣量較大的場合．冷阱盤管同時(shí)具有除霜功能，使冷阱盤管在每次開門之前恢復(fù)到常溫，有利于下次抽真空。
冷阱擋板一般安裝在擴(kuò)散泵上方，主要功能是防止油擴(kuò)散泵的油氣返流，同時(shí)也可以抽除水汽，提高真空度。
饋通件
（可單獨(dú)提供或作為冷阱盤管的一部分）
雙通道在保持給入管和返回管之間的熱隔離的同時(shí)，提供了進(jìn)入真空腔的法蘭。在外部，管接頭與制冷劑管路可直接連接。在腔室側(cè)，饋通和內(nèi)部冷阱管道焊接在一起。
制冷劑管路
“制冷劑管”包括一條給入管和一條返回管，該管帶有不銹鋼管接頭（Parker或VCR），可與COOL System和饋通件配合使用。制冷劑管采用泡沫型保溫層絕熱保護(hù)，防止暴露在戶外空氣中，以減少熱量損失。
水汽壓強(qiáng)表
有效地捕捉水蒸氣的適宜溫度是多少?
要找到適合您的真空系統(tǒng)的低溫表面溫度，請找到下面列出的系統(tǒng)的基本壓力。然后繼續(xù)到顯示所需低溫表面溫度的右欄。這個(gè)溫度表示90%的水蒸氣捕獲效率。
壓力 Torr | 溫度 ℃ | 壓力 Torr | 溫度 ℃ |
5×100 | -25.4 | 5×10-5 | -104.9 |
2×100 | -34.4 | 2×10-5 | -109.1 |
1×100 | -40.8 | 1×10-5 | -112.2 |
5×10-1 | -46.8 | 5×10-6 | -115.1 |
2×10-1 | -54.3 | 2×10-6 | -118.1 |
1×10-1 | -59.7 | 1×10-6 | -121.5 |
5×10-2 | -64.8 | 5×10-7 | -124.1 |
2×10-2 | -71.2 | 2×10-7 | -127.5 |
1×10-2 | -75.8 | 1×10-7 | -129.9 |
5×10-3 | -80.1 | 5×10-8 | -132.2 |
2×10-3 | -85.6 | 2×10-8 | -135.2 |
1×10-3 | -89.6 | 1×10-8 | -137.3 |
5×10-4 | -93.4 | 5×10-9 | -139.5 |
2×10-4 | -98.2 | 2×10-9 | -142.1 |
1×10-4 | -101.6 | 1×10-9 | -144.1 |
Cool System 抽氣速度和壓力的關(guān)系
冷阱低溫表面平均溫度與外加熱負(fù)荷的函數(shù)關(guān)系
技術(shù)規(guī)格
| 型號 | COOL2000H | COOL3000H | COOL4000H |
制冷量（W） | 2700 | 3500 | 4400 |
理論抽速（L/S） | 228000 | 295000 | 366000 |
腔體內(nèi)理論抽速（L/S） | 154000 | 198000 | 242000 |
極限真空度（Torr） | 2×10-8 | 2×10-8 | 2×10-8 |
預(yù)制冷時(shí)間 | ＜30Min | ＜30Min | ＜30Min |
冷卻時(shí)間 | ≤4Min | ≤5Min | ≤6Min |
除霜時(shí)間 | ≤5Min | ≤6Min | ≤7Min |
冷阱管表面積 ㎡ | 1 | 1.6 | 2.4 |
冷卻要求 | 水冷,18-32℃,2-4bar | ||
冷卻水流量要求（L/min） | ＞20 | ＞28 | ＞35 |
冷卻水接口 | G3/4 | G3/4 | G3/4 |
制冷劑 | 環(huán)?；旌闲屠涿?/p> | ||
控制系統(tǒng) | PLC+觸摸界面 | ||
電源要求 | 380-400V, AC , 3PH, 50/60Hz | ||
功率 | 10Kw | 13Kw | 15Kw |
配套附件
冷阱盤管 | 冷阱擋板 | 饋通 | 制冷劑管 |
*可定制不同形狀和尺寸 |
*可定制不同尺寸 |
*可選Parker和VCR接頭,規(guī)格：1寸或2寸 |
*標(biāo)準(zhǔn)長度2.45米，可定制長度 |
冷媒 | 冷水機(jī) | ||
*根據(jù)設(shè)備型號,兼容Polycold設(shè)備 |
*根據(jù)設(shè)備配置，同時(shí)兼容其他水冷設(shè)備 | ||
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